應用概述
高純氣體從存儲，輸送，分配到尾氣處理，都離不開壓力監(jiān)測。麥克傳感全自主研制生產的壓力變送器是精準獲取高純氣體壓力信息的有力儀表，對需要保障供氣系統(tǒng)安全、穩(wěn)定、無污染且滿足工藝制成要求的用戶來說，是理想的選擇。
尊敬的客戶，麥克傳感部分產品于2025年1月1日起啟用新的產品選型代碼規(guī)則，詳細規(guī)則請閱《產品選型優(yōu)化告知》，給您帶來不便，敬請諒解。
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高純氣體從存儲，輸送，分配到尾氣處理，都離不開壓力監(jiān)測。麥克傳感全自主研制生產的壓力變送器是精準獲取高純氣體壓力信息的有力儀表，對需要保障供氣系統(tǒng)安全、穩(wěn)定、無污染且滿足工藝制成要求的用戶來說，是理想的選擇。
1、高等級氣體泄露率；
2、長期穩(wěn)定性及可靠性要求較高；
3、多種腐蝕性氣體介質；
4、高潔凈要求；
5、部分設備安裝空間狹?。?/p>
1、產品密封性高，氦氣泄漏率: ≤5×10-12Pa·m3/s；
2、潔凈度高，生產地點：百級清潔車間；
3、表面處理：電拋光，符合SEMI F19；表面光潔度：典型值≤0.13μm 最大值≤ 0.18 μ；
4、耐腐性好，接液材質不銹鋼316L VAR+VIM符合SEMI F20；
5、長期穩(wěn)定性好，長期穩(wěn)定性±0.25%FS/年，高EMC防護等級，零點可調；
6、結構特點，緊湊精小，適用于狹小空間。
